Pierwsza grupa 30 więźniów niemieckich stanowiła zaczątek funkcyjnej kadry obozowej (kapo, blokowi). Pierwszy masowy transport do Auschwitz odbył się 14 czerwca 1940. Przywieziono wtedy wagonami kolejowymi drugiej klasy z więzienia w Tarnowie 728 więźniów politycznych – byli to Polacy oraz kilku polskich Żydów. Otrzymali oni numery od 31 (przypadł Stanisławowi Ryniakowi) do 758. Wojnę przeżyło 239 z nich.
Więźniowie byli zmuszani do rozbudowy obozu. Do 22 bloków dobudowano z czasem siłami więźniów kolejnych osiem bloków, a do bloków parterowych dobudowano piętro.
W marcu 1941 po raz pierwszy obóz wizytował Himmler – zdecydował wtedy o jego rozbudowie, tak aby mógł pomieścić 30 tysięcy więźniów (pierwotnie obóz planowano na ok. 10 tysięcy), a także wydał rozkazy o rozpoczęciu budowy obozu Auschwitz II w odległej o trzy kilometry od KL Auschwitz wsi Brzezinka. Początkowo miał to być obóz dla jeńców (przygotowywano miejsce dla tysięcy jeńców radzieckich), jednak potem plany te zostały zmienione. Jeńców radzieckich do Auschwitz przywieziono ok. 15 tysięcy. W związku z planami rozbudowy przeprowadzono wysiedlenia Polaków z Oświęcimia oraz okolicznych wsi. Na przełomie marca i kwietnia 1941 wysiedleniami objęto Babice, Budy, Rajsko, Brzezinkę, Broszkowice, Pławy i Harmęże.