Трихлорсилан (ТХС, силан трихлористий, силану трихлорид, силікохлороформ, трихлормоносилан) — кремнієвмісна неорганічна сполука, за 20 °C і атмосферного тиску безбарвна легколетка прозора рідина.
Вигляд та властивості Прозора рідина з різким запахом, гідролізується вологою повітря. Виробництво вимагає від персоналу підвищеної уважності та обережності через токсичність трихлорсилану. Потрапляння на шкіру навіть невеликих крапельок загрожує принаймні дуже болючим і погано загоюваним хімічним опіком; більша кількість здатна заподіяти важкі каліцтва, аж до відділення м'язової тканини від кісток.
Застосування Трихлорсилан є сировиною для виробництва полікристалічного кремнію, моносилану та дихлорсилану (які також використовують у синтезі полікремнію), основного ряду кремнійорганічних мономерів. Крім того, існують інші сфери застосування трихлорсилану. Наприклад, мікроелектроніка де його використовують для епітаксійного осадження плівок монокристалічного кремнію.
Виробництво Світовий ринок трихлорсилану, який використовується для виробництва полікремнію, розділений між США, Японією, Німеччиною та Італією.
У СРСР потужності синтезу трихлорсилану були зосереджені в Україні. На 2010 рік вироблявся в Запоріжжі. У Росії на 2010 рік трихлорсилан виробляли на чотирьох підприємствах: в Усольє-Сибірському (завод «» закритий 2017 року, станом на 2023 рік тривала утилізація небезпечних матеріалів, серед яких трихлорсилан), Новосибірську (ТОВ «Альфагаз») Дзержинську (ТОВ «Фірма „ХОРСТ“»), Новочебоксарську.
Див. також Запорізький титано-магнієвий комбінат
Примітки