Нанопечатная литография () — технология, предназначенная для переноса изображения наноструктуры или электронной схемы на подложку с покрытием и включающая деформацию покрытия штампом с последующим травлением деформированного покрытия и формированием на подложке наноструктуры или элементов электронной схемы.
Описание В нанопечатной литографии изображение образуется за счёт механической деформации полимерного покрытия (резиста) пресс-формой (штампом), а не путём изменения химической структуры покрытия с помощью облучения, как в литографии с экспонированием. Исключение из технологического процесса облучения резиста через маску упрощает производство. С помощью нанопечатной литографии можно получать наноструктуры размером менее 10 нм на достаточно больших площадях, что недоступно для всех других методов литографии.
См. также Фотолитография Электронная литография Ионно-лучевая литография
Литература Гусев А. И.: Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. — М., Наука-Физматлит, 2007. —416 с. Кобаяси Н.: Введение в нанотехнологию. — М.: Бином, 2007. —134 с.
Ссылки
Категория:Планарная технология Категория:Литография