五フッ化塩素（ごフッかえんそ、は化学式ClF5 で表される、フッ素と塩素からなるハロゲン間化合物。1963年に初めて合成された。四角錐形の分子構造を持つ。
生成 当初は三フッ化塩素とフッ素とを高温高圧下で反応させた。また、四フッ化塩素カリウム(KClF4)や四フッ化塩素ルビジウム(RbClF4), 四フッ化塩素セシウム(CsClF4)などとフッ素との反応により五フッ化塩素とフッ化カリウム・フッ化ルビジウム・フッ化セシウムが生成する。1981年には、フッ化ニッケル(II)が五フッ化塩素生成のための優れた触媒であることが発見された。 {ClF3} + F2 -> ClF5 {ClF} + 2F2 -> ClF5 {Cl2} + 5F2 -> 2ClF5 {CsClF4} + F2 -> {CsF} + ClF5
反応 加水分解により、過塩素酸フッ素(、FClO4)とフッ化水素を生じる。強力なフッ素化剤であり、衝撃により三フッ化塩素とフッ素とに分解する薄膜形成装置の表面清浄に三フッ化塩素を用いる方法（j-platpat）。 {ClF5} + 2H2O -> {ClO2F} + 4HF
脚注