Powiat początkowo obejmował cztery miasta królewskie: Oświęcim, Zator, Kęty, Wadowice i jedno miasto szlacheckie: Żywiec. Jedynie Kęty miały ponad 1000 mieszkańcówWojewództwo krakowskie w drugiej połowie XVI wieku, 2008, s. 71–75.. Liczba wsi wynosiła 188, z czego 38 liczyło ponad 200 mieszkańcówWojewództwo krakowskie w drugiej połowie XVI wieku, 2008, s. 82.. W 1617 założono miasto Zebrzydów, dziś Kalwaria Zebrzydowska. W 1723 prawa miejskie uzyskała Biała. Wokół tego miasta zamieszkiwała ludność niemiecka tworząca część bielsko-bialskiej wyspy językowej. W 1767 prawa miejskie otrzymał Andrychów, przez co liczba miast w powiecie wzrosła do 7.
Wśród mieszkańców dominował katolicyzm, którego wierni skupieni byli w diecezji krakowskiej, głównie w dekanacie Oświęcim (30 parafii) i Zator (nie w całości, 28 parafii), 3 parafie należały do dekanatu Skawina a jedna do Nowej Góry. Na przełomie XVI i XVII wieku było tu niespełna 30 zborów protestanckich (głównie kalwińskich), najwięcej na terenie województwa krakowskiego, w rękach protestantów było 29% całkowitej liczby kościołów. Innowiercy byli obecni w 34 parafiach, głównie we włościach prywatnych, a ich liczbę szacuje się na 10 – 15 tysięcy.