Wraz z epoką oświecenia w Europie narasta krytyka procesu inkwizycyjnego. W szczególności dotyczy ona stosowania tortur i braku rzeczywistej możliwości obrony. W epoce rewolucji francuskiej, władze rewolucyjne początkowo wprowadziły do procesu zasadę kontradyktoryjności, ale wraz z zaostrzaniem się terroru rewolucyjnego, stopniowo powracano do modelu inkwizycyjnego.
Proces mieszany W 1808 r. we Francji wychodzi Code d'instruction criminelle, który był procedurą karną o charakterze mieszanym, łączącym elementy inkwizycyjne i skargowe. Kodyfikacja obowiązywała we Francji, oraz niektórych krajach pod panowaniem francuskim (np. Luksemburg czy Nadrenia).
Proces mieszany ma początkowo charakter inkwizycyjny. Prowadzone przez prokuratora śledztwo jest tajne i nie ma w nim stron. Po zebraniu materiału dowodowego dalsza część procesu ma charakter skargowy. Rozprawa jest jawna, kontradyktoryjna i ustna. Rozdzielone są funkcje oskarżyciela, obrońcy i sędziego. Występują strony.
Code d'instruction criminelle został następnie przyjęty w Belgii (1831) i Monako (1873).