Możliwości AES pozwala na uzyskanie informacji o pierwiastkach obecnych na powierzchni (można analizować wszystkie pierwiastki z wyjątkiem H i He). wyznaczanie rodzaju wiązań chemicznych, w których biorą udział pierwiastki obecne na powierzchni. intensywność linii spektralnych pozwala wyliczyć stężenie pierwiastków (metoda wzorcowa). dzięki wykorzystaniu wiązki elektronów, którą można łatwo skupić, istnieje możliwość pomiaru punktowego. skanowanie wiązki elektronów na powierzchni pozwala otrzymywać mapy rozkładu powierzchniowego pierwiastków i związków chemicznych.
Wady AES występowanie efektów termicznych (powierzchnie o słabej przewodności termicznej) np. lokalnych stopień powierzchni, desorpcji termicznej, dekompozycji warstw, segregacji. poziom tła w widmie normalnym jest bardzo wysoki.
Zobacz też Pierre Victor Auger efekt Augera spektroskopia fotoelektronów w zakresie promieniowania X
Bibliografia R.W. Kelsall, I.W. Hamley, M. Geoghegan: Nanotechnologie. Warszawa: Wydawnictwo Naukowe PWN, 2008. . K. Kowalski: Wykłady „Spektralne i chemiczne metody badań materiałów”. AGH, 2010.
Kategoria:Spektroskopia