W 1621 poeta wydał w jednym tomie wszystkie napisane do tej pory wiersze oraz dramat Pyram i Tyzbe, wystawiony w tym samym roku na dworze królewskim. Dokonał również konwersji na katolicyzm, pragnąc rozwiać podejrzenia o działalność antyreligijną. Mimo tego jezuita, ks. Garasse, oskarżył go publicznie o sodomię oraz propagowanie treści obscenicznych i ateizmu. Zarzuty te zostały podniesione przez parlament paryski. Oskarżył on de Viau o napisanie i publikację serii utworów antyreligijnych w tomie Parnas satyryczny i skazał na śmierć poprzez spalenie na stosie. Poeta zbiegł ze stolicy do Chantilly, licząc na protekcję księcia de Montmorency, po czym usiłował dostać się do Niderlandów. Próba ucieczki nie powiodła się i de Viau został uwięziony w Conciergerie. Parlament podjął ponownie śledztwo w sprawie Parnasu satyrycznego, łagodząc ostatecznie wyrok i skazując de Viau na wygnanie. Już w roku następnym poeta został uwolniony od zarzutu i otrzymał zgodę na ponowne zamieszkanie w stolicy Francji. Pobyt w więzieniu nadwątlił jednak jego zdrowie do tego stopnia, że twórca zmarł w tym samym roku 1626. W ostatnich miesiącach życia porzucił libertyńskie poglądy i stał się praktykującym katolikiem.