Spektroskopia elektronowa (ang. Electron Spectroscopy) – jedna z podgrup spektroskopii, wykorzystująca zjawiska na poziomie oddziaływań elektron - próbka. Służy głównie do poznawania i badania struktury elektronowej, wiązań chemicznych oraz składu chemicznego materiałów.
Podstawy fizyczne Głównymi źródłami informacji są:
elektrony promieniowanie rentgenowskie promieniowanie synchrotronowe
Wyróżnia się dwa mechanizmy zderzeń elektronów:
sprężyste niesprężyste
W przypadku sprężystego zderzenia elektronu możemy rejestrować zjawiska dyfrakcji opierające się na teorii dualizmu korpuskularno-falowego oraz elektrony wstecznie rozproszone. Gdy dojdzie do zderzenia niesprężystego i w efekcie utraty części energii kinetycznej elektronów aparatura badawcza może zarejestrować rozpraszanie fononowe, rozpraszanie plazmonowe, wzbudzenie elektronów wtórnych czy bezpośrednie straty promieniowania. Rejestruje się również zjawiska pośrednie tj. emisje promieniowania rentgenowskiego i katodoluminescencje.
Zastosowanie Wyróżnia się cztery podstawowe metody badawcze z zakresu spektroskopii elektronowej: