Historia Zainteresowania wykorzystaniem emisji wymuszonej substancji datuje się na lata 30 XX w. Korzyści, jakie podczas II wojny światowej odniesiono z użycia promieniowania mikrofalowego w radarach, skutkowały licznymi pracami nad wytwarzaniem, wzmacnianiem i detekcją mikrofal (po zakończeniu wojny). Pierwszy publiczny opis możliwości budowy urządzenia, wytwarzającego mikrofale w ośrodku, w którym wytworzy się inwersję obsadzeń, przedstawił w Ottawie w 1952 r. – podczas konferencji poświęconej lampom elektronowym. Koncepcję uzyskania inwersji obsadzeń w gazowym amoniaku opracował Charles Townes w 1952 roku. Informacje o konstrukcji masera Townes, wraz z zespołem z New York’s Columbia University, opublikował w 1953 roku. Pierwszy na świecie maser rozpoczął działanie w 1954 r.

Ośrodkiem czynnym pierwszego masera był gazowy amoniak, którego cząsteczka ma metatrwały stan wzbudzony, z którego przejście do podstawowego odpowiada emisji promieniowania o częstotliwości 23 900 MHz. W układzie próżniowym amoniak przepływał kolejno kolejno przez sekcje: wzbudzania, separacji i emisji. Cząsteczka ta w stanie podstawowym ma większy moment dipolowy niż w stanie wzbudzonym. Energia wzbudzenia tego stanu jest znacznie mniejsza od energii cząstek w temperaturze pokojowej.