Na początku XV wieku została utworzona osobna parafia w Tarnowicach, w których wybudowano kościół pw. św. Marcina (zbudowany ok. 1400 r.) będący najstarszym istniejącym kościołem na terenie powiatu tarnogórskiego.
thumb|left|250px|Zamek w Starych Tarnowicach W okresie powstania Tarnowskich Gór na początku XVI wieku na polach między Tarnowicami (odtąd zwanymi Stare Tarnowice), Sowicami i Lasowicami, właścicielem osady była rodzina Wrochemowieów. Wymieniany wówczas w dokumentach Piotr Wrochem jest zapewne fundatorem zamku, który zastąpił wcześniejszą siedzibę właścicieli koło kościoła.
W 1683 w drodze na odsiecz Wiednia król polski Jan III Sobieski kazał czterech żołnierzy powiesić w Tarnowicach za to, iż rabowaliMarcin Kopiec: Król Sobieski na Śląsku w kościołach w drodze pod Wiedeń. 1920, s. 15..
W 1801 założono kolonię fryderycjańską Bergfreiheit dla górników kopalni kruszców srebronośnych „Fryderyk” w pobliskich Bobrownikach.