W 1843 część obszaru przeszła do nowo utworzonej guberni kowieńskiej. W wileńskiej powstały wtedy powiaty: wileński, oszmiański, święciański (powiat zawilejski) i trocki, a także przekazany z guberni grodzieńskiej lidzki oraz z mińskiej – powiat wilejski i dziśnieński.
Ludność Rok Razem Litwini Polacy Białorusini Rosjanie Żydzi inni 1862 838 464 418 880 50% 154 386 18% 146 431 17% 14 950 2% 76 802 9% 27 035 3% 1865 891 715 210 273 24% 154 386 17% 418 289 47% 27 845 3% 76 802 9% 4120 0% 1883 1 192 000 417 200 35% 281 312 24% 239 592 20% – 176 416 15% 77 480 7% 1897 1 561 713 274 414 18% 126 770 8% 880 940 56% 75 803 5% 197 929 13% 5857 0% 1909 1 550 057 231 848 15% 188 931 12% 570 351 37% 408 817 26% 146 066 9% 4094 0%
Podział narodowy ludności guberni wileńskiej (części okupowanej) przeprowadzony przez okupacyjną administrację niemiecką w 1916: Cała Ludność - 478 753 Polacy - 263 149 (55%) Litwini - 118 188 (25%) Żydzi - 83 127 (20%) Inni - 13 489 (5%) Różnica w spisach rosyjskich i niemieckich dotyczącej liczby Polaków w guberni wileńskiej uwarunkowana była zaniżaniem, przez wszystkie rosyjskie spisy ludności, liczby Polaków mieszkających na ziemiach zabranychDmowski Roman, Polityka polska i odbudowanie państwa, Warszawa 1989..