Dotychczasowe małe powiaty (Bezirke) w liczbie 179, utrzymały się do 1867 roku, kiedy to w następstwie kolejnej reformy administracyjnej (23 stycznia 1867) zostały zastąpione przez 74 większych powiatówVerordnung des Staatsministeriums vom 23 Jänner 1867 über die Reform des politischen Verwaltung in den Königreich Galizien und Lodomerien mit dem Großherzogtum Krakau und den Herzogtümern Auschwitz und Zator. Liczba powiatów stopniowo wzrastała — w 1912 roku było ich już 84, jednocześnie wprowadzano liczne zmiany w ich składzie oraz podziale na gminy jednostkowe. Wybuch I wojny światowej spowolnił ten proces, jednak zmiany administracyjne były kontynuowane także podczas trwania wojny.
II Rzeczpospolita mały|Podział administracyjny w 1934 roku Proces kształtowania i stabilizacji nowego podziału admnistracyjnego w Galicji był kontynuowany także po I wojnie światowej, czyli po przejściu całego obszaru po administrację polską. Już na początku, 1 sierpnia 1919, zlikwidowano tu obszary dworskie, łącząc je z jednoimiennymi gminami jednostkowymi. Następnie trwał okres licznych zmian, głównie na szczeblu powiatowym i gminnym, a rzadziej wojewódzkim. Tworzono nowe gminy, inne znoszono poprzez włączanie do miast lub sąsiednich gmin. Proces ten nasilił się w latach 30.