Próżniomierz kompresyjny (Mc Leoda) nadaje się do pomiaru ciśnień od ok. 1 do ok. 10−6 Tr. Jego działanie polega na wypełnianiu specjalnego zbiornika rtęcią (kompresja gazu w rurce pomiarowej) i odczycie różnicy wysokości słupków rtęci w rurce połączonej ze zbiornikiem kompresyjnym i w rurce z nim nie połączonej. Próżniomierz ten jest dość kłopotliwy w obsłudze, z uwagi na konieczność operowania rtęcią. Stosuje się go rzadko.
Próżniomierz alfatronowy (zwany niekiedy alfatronem) jest próżniomierzem radioizotopowym. Można go traktować jako odmianę próżniomierza jonizacyjnego, w którym jonizacja cząsteczek gazu w nieidealnej próżni następuje przez promieniowanie alfa, emitowane przez np. z niewielkiej próbki radu lub trytu. Próżniomierz tego typu nie jest wrażliwy na zapowietrzenie (w odróżnieniu od pracujących próżniomierzy jonizacyjnych z gorącą katoda, jak trioda cylindryczna, głowica J-G czy Bayarda-Alperta).
Próżniomierz jarzeniowy (próżniomierz Penninga) stosuje się w zakresie ciśnień od ok. 10−2 do 10−8 Tr. Do elektrod głowicy przyłożone jest wysokie napięcie (1000–2000 V.